معمل تحضير الأغشية الرقيقة (الترسيب عن طريق التبخير الفيزيائي)

يختص هذا المعمل بإنماء الأغشية الرقيقة والتي تتراوح سماكتها من 5 نانومتر إلى 100 نانومتر ويمكن عمل هذه الأغشية من المعادن الفلزية والغير فلزية والمركبات المؤكسدة وغيرها، وتحضر الأغشية الرقيقة بواسطة أجهزة متقدمة مثل جهاز النفث الأيوني Sputter deposition  ويختص هذا الجهاز بالمواد والمركبات المؤكسدة، كما يقوم بنفس العملية جهاز آخر عن طريق التبخير بالحزم الالكترونية Electron Beam Deposition حيث أن درجات الحرارة المنبعثة منه تصل إلى 3000 درجة مئوية وهو مخصص للمواد التي تتميز بدرجة انصهار عالي جداً ، وكلا الجهازين يعملان على مبدأ الترسيب بالتبخير الفيزيائي.

أجهزة معمل تحضير الأغشية الرقيقة

E-beam evaporation system NEE-400

جهاز التبخير الحراري باستخدام شعاع الالكترون

Sputtring system: UNIVEX 350

جهاز الضخ الدوري لتحضير الأفلام

جهاز التبخير الحراري باستخدام شعاع الالكترون

جهاز الضخ الدوراني لتحضير الافلام